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    • 所屬分類:愛德華真空泵維修

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    • 發布日期:2020/02/28
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    詳細介紹

    英國愛德華EDWARDS EPX系列干泵EPX180l維修

    產品介紹

    EPX系列干泵

    概述

    新的緊湊型 EPX500 高真空干泵的特性是:工作性能更佳,運行成本更低。EPX500 使用了獨特的專利保護機械裝置,能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。
    模塊化 EPX500 基于備受贊譽、大獲成功的 IPX 系列,可提供卓越的性能,與 IPX 相比,包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。 

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    應用

    EPX 系列涵蓋廣泛的應用,從水處理到中度工作負載的制程。
    EPX“L”系列旨在用于泵送惰性氣體混合物(如負荷鎖定)且通過制程機臺接口提供控制的清潔工作應用。

    功能和優勢

    緊湊的占地面積 – 作為可用的最小工具上泵之一,EPX 顯著節省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上,從而節省了前級管道和安裝成本,如果需要也可遠程安裝。

    低運行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式,從而可最大化功率效率。

    獨特的專利保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準壓力,并可以在所有進氣口壓力下連續工作。

    超清潔機械裝置 – 傳統的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑,這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油脂,并且不存在任何其他的潛在污染源。

    非??煽?nbsp;– EPX 基于經過現場驗證的 IPX 技術,具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10),大約每 年維修一次,最大程度地延長了泵的使用壽命。

    可兼容的網絡 - EPX 系列配有最終用戶控制,可以連接到各種結構的網絡,以進行診斷監視和控制。 

    技術數據 


    EPX180

    EPX500

    峰值速度

    170 m3h-1

    500 m3h-1


    105 ft3min-1

    295 ft3min-1


    2835 l min-1

    8338 l min-1

    極限真空




    <1 x 10-4 mbar

    <1 x 10-6 mbar


    <7.5 x 10-5 Torr

    <7.5 x 10-7 Torr


    <1 x 10-2 Pa

    <1 x 10-4 Pa

    預熱時間(達到標稱性能)

    30 分鐘

    30 分鐘

    入口法蘭

    ISO63

    ISO160

    出口法蘭

    NW25

    NW25

    噪音 

    <59 dB(A)

    <59 dB(A)

    最小冷卻水流速

    2 l m-1

    2 lmin-1

    冷卻水溫度

    15 – 35 °C

    15 – 35°C

    電源供給

    200/208 V,50/60 Hz 三相

    200/208 V,50/60 Hz 三相

    極限功率

    1.4 kW

    1.4 kW

    電機額定功率

    3.0 kW

    3.0 kW

    TIM

    C3

    SPI

    重量

    43.5 kg

    45.2 kg


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